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圧力センサ事業
事業概要
計測から制御への技術革新
- 1983年から圧力センサの開発・製造・販売開始。計測値を電気信号に変換、従来の計測から制御へ！
- 単空気や液体の「押す力」を電気信号に変換、駆動電力を必要とし、計測データをリアルタイムで監視・制御システムに送信することが可能な計器。 昨今では、省人化の観点から設備の自動化が進み、自動制御の精度向上や安全面向上の観点から、搭載数量や需要が増加中。
コア技術
SSセンサ半導体歪ゲージ式センサ
中圧～高圧SSセンサは、絶縁膜を形成した金属ダイアフ ラム上に、プラズマCVD蒸着により歪ゲージを形成し、ダイアフラムが流体から圧力を受けることによって生じる歪を、歪ゲージの抵抗値の変化で検出する汎用の中高圧センサです。
MSセンサ金属薄膜歪ゲージ式センサ
中圧～高圧MSセンサは、歪ゲージに、スパッタ蒸着による金属薄膜歪ゲージを採用し、SSセンサに比 べて、より高温環境やノイズ等の多い環境でも機能する「高安定・高電気ストレス耐性」を併せ持つ中高圧センサです。
CSセンサ厚膜歪ゲージ式セラミックセンサ
中圧CSセンサは、セラミックダイアフラム上に、厚膜印刷により歪ゲージとブリッジ回路を形成したセラミックセンサです。ダイアフラム自体がセラミックであるため優れた絶縁性や耐食性が得られ、ASIC等の回路部品も実装することができるセンサモジュールです。
封入式SUS316Lセンサステンレスシールダイアフラムセンサ
低圧～中圧拡散センサチップを用いた封入式ステンレス隔膜センサ素子です。ダイアフラムにSUS316L材を用い幅広い接液媒体に対応します。また、素子を先端に配置する構造が可能で、液だまりのない先端ダイアフラムタイプも可能なセンサです。
CCセンサセラミック・キャパシタンス・センサ
低圧CCセンサは、耐食性の高いセラミック製ダイアフラムを備え、圧力によるダイアフラムの変位を、ダイアフラムに形成された電極と基準電極間の静電容量変化で検出する低圧センサです。
SCセンサシリコン・キャパシタンス・センサ
微差圧SCセンサは、マイクロマシニング技術により、ミクロンオーダーに加工された極めて薄いシリコンダイアフラムを持ち、圧力によるダイアフラムの変位を静電容量変化で検出する方式を用いた、高感度な微差圧センサです。
業界別詳細
プロセス・新エネルギー
主要分野
水素・アンモニア 石油精製水素は高圧下で輸送や貯蔵が行われることが多く、圧力を正確に測定し管理することは、漏洩や爆発のリスクを軽減し、全体的なシステムの安定性を向上させるために不可欠です。圧力センサは、水素の充填、輸送、貯蔵設備において、圧力が安全限度内に保たれているか監視する役割を果たします。これにより、水素エネルギーの安全利用が実現されています。
産業機械・設備
主要分野
工作機械 油空圧機器 射出成型産業機械では、機械やシステム内の流体やガスの圧力を正確に測定し、そのデータを利用して設定条件を微調節することで、製品の一貫した品質維持、全体の運用効率を向上させる目的で圧力センサが活用されています。その結果、製造プロセスの全体的な運用コスト削減にも寄与しています。
空調
主要分野
ビルの給排水 大型冷暖房 クリーンルーム空調機における冷媒の圧力を計測し、空調システムの稼働効率向上、快適な室内環境維持のための監視、エネルギー消費抑制にも繋がっています。また、クリーンルームでは部屋の圧力を一定に保つことで異物の侵入を防ぐ等、部屋内の清潔度維持にも寄与しています。
半導体
主要分野
エッジング装置 薬液供給装置 洗浄装置 シリンダーキャビネット圧力センサは、半導体製造装置内のシステムに計測データをリアルタイムに提供することで、「ガス・薬液・水」の調整や監視を自動で行うことが可能になります。これは、半導体の生産効率向上や品質の向上、装置の保護だけでなく、危険なガスや薬液の供給は勿論、漏れ監視にも利用されています。
量産・車
主要分野
自動車自動車では、エンジンの燃焼システム、ブレーキ、エアコン等、圧力計測が多数必要とされています。燃料を供給する圧力制御により燃費向上に繋げたりブレーキ制御により自動運転を実現させる等、機能向上に繋がるだけでなく、安全性向上にも寄与しています。
量産・建機
主要分野
建設機械ショベルカー等の重機における油圧制御は、アームの動きや土の掘削作業の駆動源となります。そのため、圧力センサの搭載は、建設機械の性能向上に関わることとなり、異常な圧力を早期に検出することで、保全だけでなく工期遅延の軽減、より安全で効率的な作業を支えています。